Laboratorio per le Nanostrutture
Strumentazione: Profilometro ottico per la misura di superfici 3D e sistemi in vibrazione (Laser Doppler Vibrometer) , Sistema potenzio-galvanostatico per processi di plating e anodizzazione su wafer di silicio, Sistema LLOYD per la caratterizzazione micro-meccanica dei materiali , Laser CO2 (25W) per taglio e incisione materiali plastici e polimeri Tool di simulazione: CAD per simulazioni MEMS-NEMS (Ansys Multiphysics).