Fabbricazione di rivelatori di luce KID (Kinetic Inductance Detectors) con tecnologie dei film sottili (SPC: 2013-0070-1339-034481)

Codice bando: 168

L’obiettivo del progetto CALDER è di sviluppare rivelatori di luce criogenici ad alta sensibilità per l’identificazione di eventi rari, come il doppio decadimento beta e collisioni di materia oscura con la materia ordinaria. Oggetto di questa ricerca e’ la fabbricazione e messa a punto di rivelatori superconduttori del tipo detto KID, in cui l’elemento attivo è un meandro superconduttore costituito da un film sottile (poche decine di nanometri). Si dovranno ottimizzare le condizioni sperimentali sia di deposizione che di rimozione per vari tipi di materiali superconduttori (alluminio, nitruro di titanio, siliciuro di tungsteno e altri).
Il trasferimento del layout per il patterning sarà effettuato mediante litografia elettronica.
Seguirà una fase di caratterizzazione strutturale e morfologica tramite varie tecniche diagnostiche quali microscopia a forza atomica (AFM) e microscopia a scansione elettronica (SEM).

Data pubblicazione: 22-10-2013
Data scadenza: 21-11-2013
Centro di spesa: DIPARTIMENTO DI FISICA
2013-0070-1339-034481
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